發(fā)布時(shí)間:2013-04-12 13:46:06點(diǎn)擊數:2336次
一種制作濾光片的方法,可增加一半導體晶片上的一濾光片附著(zhù)力并避免光線(xiàn)的跨越干擾現象;該方法是先于該半導體晶片上形成一介電層以覆蓋設于該半導體晶片上的MOS晶體管感測器;然后于該介電層上形成復數個(gè)金屬層約略設置于各MOS晶體管感測器兩側上方;接著(zhù)形成一保護層,并于該保護層上形成一第一濾光片,其兩側與下方的兩該金屬層約略對齊;之后依序于該保護層上形成一第二濾光片以及一第三濾光片且分別部分相疊于該第一濾光片的一側;其中各濾光片相疊的部分可以提高各該濾光片的附著(zhù)力,同時(shí)形成一光線(xiàn)阻障層,以避免光線(xiàn)的跨越干擾紅外濾光片的作用就是透紅外光截止可見(jiàn)光。這樣即使在光線(xiàn)不好或沒(méi)有的情況下,相機仍然可以拍攝不過(guò)是黑白效果了。
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